Advanced Energy, 새로운 Luxtron® FluorOptic® 감지 플랫폼으로 고정밀 온도 모니터링 포트폴리오 확장

RubiLux™ 및 VioLux™ 인광체 기술을 사용한 새로운 감지 플랫폼, 확장된 온도 범위에서 정확하고 반복 측정 가능

2022-07-15 09:50 출처: Advanced Energy Industries, Inc. (나스닥 AEIS)

덴버, 콜로라도--(뉴스와이어)--첨단 기술이 적용된 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션의 글로벌 리더 Advanced Energy Industries, Inc.(나스닥: AEIS)는 새로운 컨버터 플랫폼과 두 가지 독점적 인광체 기술로 FluorOptic® 온도 측정(FOT) 솔루션의 Luxtron® 제품군을 확장했습니다.

RubiluxTM 및 VioLuxTM 인광체 기술이 탑재된 Luxtron M-1000 컨버터는 반도체 식각 및 증착 공정 애플리케이션에서 wide temperature range와 accuracy로 온도 측정이 가능합니다.

새로운 광원과 개선된 low noise 광검출 기능을 갖춘 Luxtron M-1000은 ±0.2°C의 낮은 accuracy, 0.05°C보다 높은 안정성, 업계에서 가장 넓은 -200~450°C의 동작 범위를 구현해 dual 채널을 제공합니다. 이 컨버터는 전체 온도 범위를 수용하기 위해 두 형광체 기술 모두 동시에 작동하도록 최적화해 있습니다.

Advanced Energy의 전략적 마케팅 및 응용 부문, 중요 감지 및 제어 담당 부사장인 Jeff Hebb는 “웨이퍼 온도는 3D NAND와 같은 반도체 장치를 만드는 데 사용되는 고급 HAR (High Aspect Ratio) 식각을 위한 중요한 공정 매개변수”라고 말한 뒤 다음과 같이 덧붙였습니다. “HAR 식각 공정을 최적화하기 위해 첨단 반도체 제조업체들은 극저온에서 고온 chuck에 이르는 더 넓은 범위의 작동 온도를 요구받고 있습니다. 광범위한 온도 범위에 걸쳐 정확하고 반복 가능한 측정을 제공함으로써 M-1000 컨버터와 새로운 형광체 기술은 HAR 공정의 대량 제조에 필요한 전체 범위의 온도 측정을 가능하게 합니다.”

수십 년 동안 Advanced Energy의 Luxtron FOT 감지 기술은 높은 온도 정확도와 넓은 작동 범위로 업계를 선도해 왔습니다. Luxtron FOT 감지 시스템은 인광체 코팅 광섬유 프로브와 고급 광원, 광검출기 독점 소프트웨어 알고리즘 및 로우 노이즈 증폭 회로를 통합하는 고성능 컨버터를 결합합니다. 측정이 광학 감지에 기반해 이뤄지기 때문에 Luxtron FOT 시스템은 플라스마 식각 및 증착, MRI 시스템 및 전력 변압기를 포함해 강한 전자기장을 포함하는 공정에서 기존 전기 센서보다 더 높은 정확도를 제공합니다.

자세한 제품 정보 및 기술 규격은 당사 웹사이트(https://bit.ly/3o4vJl2)를 방문하십시오.

어드밴스드 에너지 개요

어드밴스드 에너지 인더스트리즈(Advanced Energy Industries, Inc., 나스닥: AEIS)는 미션 크리티컬 애플리케이션 및 공정을 위한 최첨단 공학 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션 설계 및 제조 분야의 글로벌 리더다. 어드밴스드 에너지의 전력 솔루션은 반도체 장비, 산업, 제조, 통신, 데이터 센터 컴퓨팅 및 의료를 비롯한 광범위한 산업의 복잡한 애플리케이션에서 고객이 혁신을 실현할 수 있도록 한다. 어드밴스드 에너지는 공학 노하우와 전 세계 고객을 위한 대응 서비스 및 지원을 통해 기술 발전에 부응하고 고객의 성장을 촉진하며 전력의 미래를 혁신하기 위한 협력 파트너십을 구축하며, 완벽한 전력 공급을 구현하기 위해 40년간 전념해 왔다. 어드밴스드 에너지의 본사는 미국 콜로라도주 덴버에 있다.

자세한 정보는 홈페이지 참조.

어드밴스드 에너지 | 정밀. 전력. 성능.

사진/멀티미디어 자료 : https://www.businesswire.com/news/home/52776455/en

이 뉴스는 기업·기관·단체가 뉴스와이어를 통해 배포한 보도자료입니다. 배포 안내 >
뉴스와이어 제공